次世代光リソグラフィーの真空紫外光学材料応用フッ化物単結晶の開発

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Bibliographic Information

Title
"次世代光リソグラフィーの真空紫外光学材料応用フッ化物単結晶の開発"
Statement of Responsibility
研究代表者 福田承生
Publisher
  • [福田承生]
Publication Year
  • 2002.3
Book size
30cm
Other Title
  • ジ セダイ ヒカリ リソグラフィー ノ シンクウ シガイ コウガク ザイリョウ オウヨウ フッカブツ タンケッショウ ノ カイハツ

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Notes

課題番号: 12555001

平成12年度～平成14年度科学研究費補助金基盤研究(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282270630687232
  • NII Book ID
    BB10075754
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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