ULSIプロセス技術
CiNii
所蔵館 92館
書誌事項
- タイトル
- "ULSIプロセス技術"
- 責任表示
- 原央編
- 出版者
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- 培風館
- 出版年月
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- 1997.6
- 書籍サイズ
- 22cm
- タイトル別名
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- ULSI プロセス ギジュツ
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注記
執筆: 有門経敏ほか
参考文献: 各章末
索引あり
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270661597440
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- NII書誌ID
- BA30760470
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- ISBN
- 456303617X
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- 東京
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- 件名
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- NDLSH: 集積回路
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- データソース種別
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- CiNii Books