拡張シールド型真空アーク蒸着装置による絶縁性窒化アルミニウム膜の創製
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "拡張シールド型真空アーク蒸着装置による絶縁性窒化アルミニウム膜の創製"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者 榊原建樹
- Publisher
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- 榊原建樹
- Publication Year
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- 2002.3
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- カクチョウ シールドガタ シンクウ アーク ジョウチャク ソウチ ニヨル ゼツエンセイ チッカ アルミニウム マク ノ ソウセイ
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Notes
課題番号: 11450122
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270772989312
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- NII Book ID
- BA72844249
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [豊橋]
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- Data Source
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- CiNii Books