Ion implantation for materials processing

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書誌事項

タイトル
"Ion implantation for materials processing"
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edited by F.A. Smidt ; with an introduction by E. Gelerinter and N. Spielberg
出版者
  • Noyes Data Corp.
出版年月
  • 1983
書籍サイズ
25 cm

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注記

Bibliography: p. 240-244

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