第2高調波エリプソメトリを用いた半導体の2次非線形光学特性に関する研究
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "第2高調波エリプソメトリを用いた半導体の2次非線形光学特性に関する研究"
- Statement of Responsibility
- 伊藤良一研究代表者
- Publisher
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- [伊藤良一]
- Publication Year
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- 2002.3
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- ダイ2 コウチョウハ エリプソメトリ オ モチイタ ハンドウタイ ノ 2ジ ヒセンケイ コウガク トクセイ ニ カンスル ケンキュウ
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Notes
研究分担者: 崔博坤, 立川真樹, 三浦登, 近藤高志, 庄司一郎
課題番号: 11305010
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270953574784
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- NII Book ID
- BA5898507X
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- Text Lang
- ja
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
-
- [川崎]
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- Data Source
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- CiNii Books