ウルトラクリーン・プラズマプロセスシステムの開発
CiNii
所蔵館 1館
書誌事項
- タイトル
- "ウルトラクリーン・プラズマプロセスシステムの開発"
- 責任表示
- 研究代表者 大見忠弘
- 出版者
-
- [大見忠弘]
- 出版年月
-
- 1995.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
-
- ウルトラ クリーン・プラズマ プロセス システム ノ カイハツ
この図書・雑誌をさがす
注記
課題番号: 05044074
平成6年度科学研究費補助金(国際学術研究)研究成果報告書
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130282271025131264
-
- NII書誌ID
- BB12770061
-
- 出版国コード
- ja
-
- タイトル言語コード
- ja
-
- 出版地
-
- [仙台]
-
- データソース種別
-
- CiNii Books