書誌事項
- タイトル
- "Rapid thermal processing of semiconductors"
- 責任表示
- Victor E. Borisenko, Peter J. Hesketh
- 出版者
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- Plenum
- 出版年月
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- c1997
- 書籍サイズ
- 26 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271054230528
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- NII書誌ID
- BA31689644
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- ISBN
- 0306450542
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- LCCN
- 97003783
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/97003783
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- New York
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC21: 621.3815/2
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- データソース種別
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- CiNii Books