書誌事項
- タイトル
- "Thin film and depth profile analysis"
- 責任表示
- edited by H. Oechsner ; with contributions by H.-W. Etzkorn ... [et al.]
- 出版者
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- Springer-Verlag
- 出版年月
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- 1984
- 書籍サイズ
- 25 cm
- シリーズ名/番号
-
- : us
- : gw
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271056323200
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- NII書誌ID
- BA03990434
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- ISBN
- 0387133208
- 3540133208
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- LCCN
- 84005394
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/84005394
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- gw
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Berlin ; New York ; Tokyo
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- 分類
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- LCC: QC176.84.S93
- DC19: 530.4/1
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- 件名
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- LCSH: Thin films -- Surfaces
- LCSH: Surface chemistry
- LCSH: Sputtering (Physics)
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- データソース種別
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- CiNii Books
