ここまできたイオン注入技術 : 超LSIプロセスのリード役
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書誌事項
- タイトル
- "ここまできたイオン注入技術 : 超LSIプロセスのリード役"
- 責任表示
- 布施玄秀, 平尾孝編著
- 出版者
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- 工業調査会
- 出版年月
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- 1991.6
- 書籍サイズ
- 19cm
- タイトル別名
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- ココマデ キタ イオン チュウニュウ ギジュツ : チョウ LSI プロセス ノ リードヤク
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271099965568
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- NII書誌ID
- BN06481370
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- ISBN
- 4769360800
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- 東京
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- 分類
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- NDC8: 549.8
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- データソース種別
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- CiNii Books