Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication

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書誌事項

タイトル
"Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication"
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Toshiaki Makabe, Zoran Lj. Petrovic
出版者
  • CRC Press
  • 2nd ed
出版年月
  • c2015
書籍サイズ
24 cm
シリーズ名/番号
  • : hardback

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注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282271107265280
  • NII書誌ID
    BB18074449
  • ISBN
    9781482222050
  • LCCN
    2014016456
  • Web Site
    https://lccn.loc.gov/2014016456
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Boca Raton, FL
  • 分類
  • データソース種別
    • CiNii Books
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