ナノインプリント技術および装置の開発

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書誌事項

タイトル
"ナノインプリント技術および装置の開発"
責任表示
松井真二, 古室昌徳監修
出版者
  • シーエムシー出版
  • 普及版
出版年月
  • 2011.2
書籍サイズ
21cm
タイトル別名
  • ナノインプリント ギジュツ オヨビ ソウチ ノ カイハツ
  • Development of nanoimprint and its device
  • ナノインプリントの開発と応用

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注記

「ナノインプリントの開発と応用」(2005年刊行) の改題

文献: 各章末

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282271146263680
  • NII書誌ID
    BB05003947
  • ISBN
    9784781303024
  • 本文言語コード
    ja
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • 東京
  • 分類
  • 件名
  • データソース種別
    • CiNii Books
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