磁場制御による3次元複雑形状面の全面同時研磨に関する新型ナノ研磨装置の開発

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Bibliographic Information

Title
"磁場制御による3次元複雑形状面の全面同時研磨に関する新型ナノ研磨装置の開発"
Statement of Responsibility
研究代表者 島田邦雄
Publisher
  • [福島大学共生システム理工学類]
Publication Year
  • 2007.4
Book size
30cm
Other Title
  • ジバ セイギョ ニヨル 3ジゲン フクザツ ケイジョウメン ノ ゼンメン ドウジ ケンマ ニ カンスル シンガタ ナノ ケンマ ソウチ ノ カイハツ
  • 平成17年度〜平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書

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Notes

研究課題番号: 17560089

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282271163573504
  • NII Book ID
    BA82409552
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [福島]
  • Data Source
    • CiNii Books
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