超LSI製造・試験装置ガイドブック
CiNii
所蔵館 23館
書誌事項
- タイトル
- "超LSI製造・試験装置ガイドブック"
- 出版者
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- 工業調査会
- 出版年月
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- 1981.11-2009.11
- 書籍サイズ
- 26cm
- タイトル別名
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- チョウ LSI セイゾウ シケン ソウチ ガイドブック
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注記
付録(巻末): 半導体製造・試験装置メーカー・商社一覧表(2001年版-2005年版)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271173270400
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- NII書誌ID
- BN03720533
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- 東京
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- データソース種別
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- CiNii Books