メタルゲート/高誘電率金属酸化物ゲート絶縁膜スタック構造の真空一貫原子層成長

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Bibliographic Information

Title
"メタルゲート/高誘電率金属酸化物ゲート絶縁膜スタック構造の真空一貫原子層成長"
Statement of Responsibility
研究代表者 中島 安理
Publisher
  • 広島大学ナノデバイス・システム研究センター
Publication Year
  • 2005.3
Book size
30cm
Other Title
  • メタルゲート コウユウデンリツ キンゾク サンカブツ ゲート ゼツエンマク スタック コウゾウ ノ シンクウ イッカン ゲンシソウ セイチョウ

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Notes

課題番号: 13450129

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282271236505856
  • NII Book ID
    BA74511258
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • 東広島
  • Data Source
    • CiNii Books
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