次世代400mmシリコンウエハ平坦度の自律的超精密測定システムの開発
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "次世代400mmシリコンウエハ平坦度の自律的超精密測定システムの開発"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者 高偉
- Publisher
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- [高偉]
- Publication Year
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- 2003.5
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- ジセダイ 400mm シリコンウエハ ヘイタンド ノ ジリツテキ チョウセイミツ ソクテイ システム ノ カイハツ
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Notes
研究課題番号: 12555032
平成12年度～平成14年度科学研究費補助金[基盤研究(B)(2)]研究成果報告書
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271258378624
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- NII Book ID
- BB10074398
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- Text Lang
- ja
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
-
- [仙台]
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- Data Source
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- CiNii Books