電界蒸発機構による極微細接合・加工
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書誌事項
- タイトル
- "電界蒸発機構による極微細接合・加工"
- 責任表示
- 研究代表者 安田清和
- 出版者
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- 大阪大学工学部
- 出版年月
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- 1993.4
- 書籍サイズ
- 30 cm
- タイトル別名
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- デンカイ ジョウハツ キコウ ニ ヨル ゴクビサイ セツゴウ カコウ
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注記
[課題番号]: 03805063
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271297991296
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- NII書誌ID
- BB23548575
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [吹田]
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- データソース種別
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- CiNii Books
