エキシマレーザーによる光化学反応を利用した低温凝集相からの成膜法の開発

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Bibliographic Information

Title
"エキシマレーザーによる光化学反応を利用した低温凝集相からの成膜法の開発"
Statement of Responsibility
研究代表者 遠藤勝義
Publisher
  • 大阪大学工学部
Publication Year
  • 1998.4
Book size
30 cm
Other Title
  • エキシマ レーザー ニ ヨル ヒカリ カガク ハンノウ ヲ リヨウ シタ テイオン ギョウシュウソウ カラ ノ セイマクホウ ノ カイハツ

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Notes

課題番号: 07555041

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282271358809472
  • NII Book ID
    BB28592858
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [吹田]
  • Data Source
    • CiNii Books
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