プラズマCVDにおける寄与反応の分離と放電による反応プロセス制御

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Bibliographic Information

Title
"プラズマCVDにおける寄与反応の分離と放電による反応プロセス制御"
Statement of Responsibility
研究代表者 岡崎健
Publisher
  • 岡崎健
Publication Year
  • 1992.3
Book size
26cm
Other Title
  • プラズマ CVD ニオケル キヨ ハンノウ ノ ブンリ ト ホウデン ニヨル ハンノウ プロセス セイギョ
  • 平成3年度科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書

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Notes

研究課題番号: 01460117

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282271380295424
  • NII Book ID
    BA60139013
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [豊橋]
  • Data Source
    • CiNii Books
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