水素を利用したシリコン中の高温点欠陥研究及び二次欠陥フリー単結晶育成法の開発

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Bibliographic Information

Title
"水素を利用したシリコン中の高温点欠陥研究及び二次欠陥フリー単結晶育成法の開発"
Statement of Responsibility
末澤正志研究代表者
Publisher
  • [末澤正志]
Publication Year
  • 2001.3
Book size
31cm
Other Title
  • スイソ オ リヨウ シタ シリコンチュウ ノ コウオンテン ケッカン ケンキュウ オヨビ ニジ ケッカン フリー タンケッショウ イクセイホウ ノ カイハツ
  • 平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号11450001)

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282271447257728
  • NII Book ID
    BB06063172
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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