水素終端シリコン表面の原子層酸化の機構と界面構造
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書誌事項
- タイトル
- "水素終端シリコン表面の原子層酸化の機構と界面構造"
- 責任表示
- 研究代表者 広瀬全孝
- 出版者
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- [広瀬全孝]
- 出版年月
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- 1994.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- スイソ シュウタン シリコン ヒョウメン ノ ゲンシソウ サンカ ノ キコウ ト カイメン コウゾウ
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注記
研究課題番号: 04452177
研究代表者: 広瀬全孝(広島大学工学部教授)
研究分担者: 宮崎誠一
文献あり
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271491617024
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- NII書誌ID
- BB2731132X
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [東広島]
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- データソース種別
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- CiNii Books