気相水素原子と水素終端シリコン表面の反応ダイナミックス

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Bibliographic Information

Title
"気相水素原子と水素終端シリコン表面の反応ダイナミックス"
Statement of Responsibility
研究代表者 並木章
Publisher
  • [九州工業大学]
Publication Year
  • 2005.5
Book size
30cm
Other Title
  • キソウ スイソ ゲンシ ト スイソ シュウタン シリコン ヒョウメン ノ ハンノウ ダイナミックス
  • 平成14年度〜平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

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Notes

課題番号: 14350022

研究分担者: 稲永征司, 鶴巻浩

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282271509263360
  • NII Book ID
    BA79314491
  • Text Lang
    en
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [北九州]
  • Data Source
    • CiNii Books
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