強磁性・強誘電性酸化物系スパッタ薄膜の開発

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Bibliographic Information

Title
"強磁性・強誘電性酸化物系スパッタ薄膜の開発"
Statement of Responsibility
研究代表者 杉本諭
Publisher
  • [杉本諭]
Publication Year
  • 1997.3
Book size
30cm
Other Title
  • キョウジセイ キョウ ユウデンセイ サンカブツケイ スパッタ ハクマク ノ カイハツ
  • 平成6年度～平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

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Notes

課題番号: 06555199

研究代表者: 杉本 諭 (東北大学工学部助教授)

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282271523225728
  • NII Book ID
    BB1085474X
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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