単結晶Al2O3膜上への超平坦・高品質Si薄膜成長法の研究

CiNii Available at 1 libraries

Bibliographic Information

Title
"単結晶Al2O3膜上への超平坦・高品質Si薄膜成長法の研究"
Statement of Responsibility
石田誠研究代表
Publisher
  • 石田誠
Publication Year
  • 1998.3
Book size
30cm
Other Title
  • タンケッショウ Al2O3マクジョウ エノ チョウヘイタン・コウヒンシツ Siハクマク セイチョウホウ ノ ケンキュウ

Search this Book/Journal

Notes

研究課題番号: 08455144

代表者所属: 豊橋技術科学大学工学部

Related Books

See more

Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282271539208448
  • NII Book ID
    BA79826915
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [豊橋]
  • Data Source
    • CiNii Books
Back to top