DLTSによる超LSI表面の微細欠陥構造とホットキャリアに関する研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "DLTSによる超LSI表面の微細欠陥構造とホットキャリアに関する研究"
- 責任表示
- 研究代表者 安達芳夫
- 出版者
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- [安達芳夫]
- 出版年月
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- 1982.3
- 書籍サイズ
- 26cm
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注記
昭和56年度科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書(課題番号546102)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271547982080
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- NII書誌ID
- BB23434962
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [東京]
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- データソース種別
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- CiNii Books