RF-DC結合型バイアススパッタ装置
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "RF-DC結合型バイアススパッタ装置"
- Statement of Responsibility
- 柴田直研究代表
- Publisher
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- [柴田直]
- Publication Year
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- 1989.3
- Book size
- 26cm
- Other Title
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- RF-DC ケツゴウガタ バイアス スパッタ ソウチ
- 昭和62年度科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書(課題番号62850050)
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271660636032
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- NII Book ID
- BB12423501
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [仙台]
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- Data Source
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- CiNii Books