Atomic layer deposition : at the 208th ECS Meeting, October 16-21, 2005, Los Angeles, California, USA
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書誌事項
- タイトル
- "Atomic layer deposition : at the 208th ECS Meeting, October 16-21, 2005, Los Angeles, California, USA"
- 責任表示
- [editors, A. R. Londergan ... [et al.]]
- 出版者
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- The Electrochemical Society
- 出版年月
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- c2006
- 書籍サイズ
- 23 cm
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注記
Includes bibliographical references and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271674062592
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- NII書誌ID
- BA81203143
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- ISBN
- 1566774438
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pennington, N.J.
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- データソース種別
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- CiNii Books