格子歪み制御されたSi表面での熱酸化反応ダイナミクスの研究
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Bibliographic Information
- Title
- "格子歪み制御されたSi表面での熱酸化反応ダイナミクスの研究"
- Statement of Responsibility
- 高桑雄二研究代表者
- Publisher
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- [高桑雄二]
- Publication Year
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- 2006.3
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- コウシ ヒズミ セイギョ サレタ SI ヒョウメン デ ノ ネツ サンカ ハンノウ ダイナミクス ノ ケンキュウ
- 平成16年度～平成17年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書 : 16360015
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Notes
課題番号: 16360015
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271763964800
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- NII Book ID
- BB10819614
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [仙台]
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- Data Source
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- CiNii Books