マイクロ加工の物理と応用
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Bibliographic Information
- Title
- "マイクロ加工の物理と応用"
- Statement of Responsibility
- 吉田善一著
- Publisher
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- 裳華房
- Publication Year
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- 1998.3
- Book size
- 22cm
- Other Title
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- マイクロ カコウ ノ ブツリ ト オウヨウ
- The physics and technology of microfabrication
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Notes
欧文標題は標題紙裏による
付: 参考文献, 参考書