酸化物薄膜における酸素欠損と電気的特性の関連性評価と膜質改善

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Bibliographic Information

Title
"酸化物薄膜における酸素欠損と電気的特性の関連性評価と膜質改善"
Statement of Responsibility
山部紀久夫研究代表
Publisher
  • [山部紀久夫]
Publication Year
  • 2006.5
Book size
30cm
Other Title
  • サンカブツ ハクマク ニオケル サンソ ケッソン ト デンキテキ トクセイ ノ カンレンセイ ヒョウカ ト マクシツ カイゼン

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Notes

課題番号: 16360016

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282271853657088
  • NII Book ID
    BA77576646
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [つくば]
  • Data Source
    • CiNii Books
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