SiGe基板単結晶の低欠陥化と歪みを制御した機能性ヘテロ構造の創製
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Bibliographic Information
- Title
- "SiGe基板単結晶の低欠陥化と歪みを制御した機能性ヘテロ構造の創製"
- Other Title
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- SIGE キバンタンケッショウ ノ テイケッカンカ ト ヒズミ オ セイギョ シタ キノウセイ ヘテロ コウゾウ ノ ソウセイ
- 平成14年度～平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(S))研究成果報告書 : 14102020
- Statement of Responsibility
- 中嶋一雄研究代表
- Publisher
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- [中嶋一雄]
- Publication Year
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- 2007.5
- Book size
- 30cm
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Notes
課題番号: 14102020
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271939172864
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- NII Book ID
- BB10250683
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [仙台]
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- Data Source
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- CiNii Books
