SiGe基板単結晶の低欠陥化と歪みを制御した機能性ヘテロ構造の創製

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Bibliographic Information

Title
"SiGe基板単結晶の低欠陥化と歪みを制御した機能性ヘテロ構造の創製"
Statement of Responsibility
中嶋一雄研究代表
Publisher
  • [中嶋一雄]
Publication Year
  • 2007.5
Book size
30cm
Other Title
  • SIGE キバンタンケッショウ ノ テイケッカンカ ト ヒズミ オ セイギョ シタ キノウセイ ヘテロ コウゾウ ノ ソウセイ
  • 平成14年度～平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(S))研究成果報告書 : 14102020

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Notes

課題番号: 14102020

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282271939172864
  • NII Book ID
    BB10250683
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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