合金清浄表面の選択スパッタリングと偏析過程に関する研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "合金清浄表面の選択スパッタリングと偏析過程に関する研究"
- 責任表示
- 研究代表者 山科俊郎
- 出版者
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- [北海道大学工学部]
- 出版年月
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- 1980.3
- 書籍サイズ
- 26cm
- タイトル別名
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- ゴウキン セイジョウ ヒョウメン ノ センタク スパッタリング ト ヘンセキ カテイ ニカンスル ケンキュウ
- 昭和54年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書
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注記
研究課題番号: 347051
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271945614976
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- NII書誌ID
- BA82582444
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [札幌]
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- データソース種別
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- CiNii Books
