選択性逆転の可能なプラズマ低温プロセスに関する研究

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Bibliographic Information

Title
"選択性逆転の可能なプラズマ低温プロセスに関する研究"
Statement of Responsibility
松浦孝研究代表
Publisher
  • [松浦孝]
Publication Year
  • 1994.3
Book size
30cm
Other Title
  • センタクセイ ギャクテン ノ カノウナ プラズマ テイオン プロセス ニ カンスル ケンキュウ
  • 平成5年度科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書(課題番号04805029)

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282271957816320
  • NII Book ID
    BB12252442
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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