電気的解析手法と構造的解析手法の融合によるシリコン酸化膜の破壊機構に関する研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "電気的解析手法と構造的解析手法の融合によるシリコン酸化膜の破壊機構に関する研究"
- 責任表示
- 舛岡富士雄研究代表者
- 出版者
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- [舛岡富士雄]
- 出版年月
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- 2000.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- デンキテキ カイセキ シュホウ ト コウゾウテキ カイセキ シュホウ ノ ユウゴウ ニヨル シリコン サンカマク ノ ハカイ キコウ ニカンスル ケンキュウ
- 平成10-11年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書(研究課題番号10305023)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282272009892352
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- NII書誌ID
- BB03000620
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books
