イオンビームを用いた傾斜機能cBN薄膜合成の研究

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Bibliographic Information

Title
"イオンビームを用いた傾斜機能cBN薄膜合成の研究"
Statement of Responsibility
研究代表者 三宅正司
Publisher
  • 大阪大学接合科学研究所
Publication Year
  • 1998.1
Book size
30 cm
Other Title
  • イオン ビーム ヲ モチイタ ケイシャ キノウ cBN ハクマク ゴウセイ ノ ケンキュウ

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Notes

課題番号: 07555521

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282272043830144
  • NII Book ID
    BB28390605
  • Text Lang
    en
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [吹田]
  • Data Source
    • CiNii Books
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