ナノメータ制御されたヘテロ層を有するSi-Ge系超微細デバイスに関する研究

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Bibliographic Information

Title
"ナノメータ制御されたヘテロ層を有するSi-Ge系超微細デバイスに関する研究"
Statement of Responsibility
室田惇一研究代表
Publisher
  • [室田惇一]
Publication Year
  • 1994.3
Book size
30cm
Other Title
  • ナノメータ セイギョ サレタ ヘテロソウ オ ユウスル Si-Geケイ チョウビサイ デバイス ニカンスル ケンキュウ
  • 平成4年度～平成5年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書(課題番号04452167)

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282272045949568
  • NII Book ID
    BB10971313
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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