Advanced metallization for future ULSI : symposium held April 8-11, 1996, San Francisco, California, U.S.A.

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書誌事項

タイトル
"Advanced metallization for future ULSI : symposium held April 8-11, 1996, San Francisco, California, U.S.A."
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editors, K. N. Tu ... [et al.]
出版者
  • Materials Research Society
出版年月
  • c1996
書籍サイズ
24 cm

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282272060904448
  • NII書誌ID
    BA29179226
  • ISBN
    1558993304
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Pittsburgh, Pa.
  • データソース種別
    • CiNii Books
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