Defect engineering in semiconductor growth, processing and device technology : symposium held April 26-May 1, 1992, San Francisco, California, U.S.A.
書誌事項
- タイトル
- "Defect engineering in semiconductor growth, processing and device technology : symposium held April 26-May 1, 1992, San Francisco, California, U.S.A."
- 責任表示
- editors, S. Ashok ... [et al.]
- 出版者
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- Materials Research Society
- 出版年月
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- c1992
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282272131995648
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- NII書誌ID
- BA18823516
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- ISBN
- 1558991573
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- LCCN
- 92023182
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/92023182
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pittsburgh, Pa.
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- 分類
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- LCC: QC611.6.D4
- DC20: 621.3815/2
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- データソース種別
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- CiNii Books