マイクロ波リモートプラズマによる新しい窒化物半導体単結晶薄膜成長と評価
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "マイクロ波リモートプラズマによる新しい窒化物半導体単結晶薄膜成長と評価"
- 責任表示
- 研究代表者吉田明
- 出版者
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- 吉田明
- 出版年月
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- 1995.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- マイクロハ リモート プラズマ ニ ヨル アタラシイ チッカブツ ハンドウタイ タンケッショウ ト ヒョウカ
- 平成6年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書
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注記
研究課題番号: 05452191
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282272132816512
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- NII書誌ID
- BN1381583X
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [豊橋]
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- 分類
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- NDC8: 549.9
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- データソース種別
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- CiNii Books