はじめての半導体製造装置

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Bibliographic Information

Title
"はじめての半導体製造装置"
Statement of Responsibility
前田和夫著
Publisher
  • 技術評論社
Publication Year
  • 2011.8
Book size
21cm
Other Title
  • ハジメテ ノ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ

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Notes

工業調査会 1999年刊の再刊

さらに半導体製造装置を学ぶ人のための参考書: p237-240

引用文献および資料: p241-244

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282272404851840
  • NII Book ID
    BB0639980X
  • ISBN
    9784774147505
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • 東京
  • Classification
  • Subject
  • Data Source
    • CiNii Books
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