極微細半導体素子での基板電流ゆらぎに伴う素子寿命不確定性抑制の研究

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Bibliographic Information

Title
"極微細半導体素子での基板電流ゆらぎに伴う素子寿命不確定性抑制の研究"
Publisher
  • [佐野伸行]
Publication Year
  • 2001.3
Book size
30cm
Other Title
  • ゴク ビサイ ハンドウタイ ソシ デノ キバン デンリュウ ユラギ ニ トモナウ ソシ ジュミョウ フカクテイセイ ヨクセイ ノ ケンキュウ

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Notes

研究代表者: 佐野伸行

研究課題番号: 10555115

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282272504300032
  • NII Book ID
    BA52926307
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [つくば]
  • Data Source
    • CiNii Books
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