Lithography for semiconductor manufacturing : 19-21 May 1999, Edinburgh, Scotland
書誌事項
- タイトル
- "Lithography for semiconductor manufacturing : 19-21 May 1999, Edinburgh, Scotland"
- 責任表示
- Chris A. Mack, Tom Stevenson, chairs/editors ; sponsored by EOS--European OPtical Society ... [et al.]
- 出版者
-
- SPIE
- 出版年月
-
- c1999
- 書籍サイズ
- 28 cm
この図書・雑誌をさがす
注記
Includes bibliographical references and index
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130282272766401536
-
- NII書誌ID
- BA60527894
-
- ISBN
- 0819432210
-
- LCCN
- 00502114
-
- Web Site
- https://lccn.loc.gov/00502114
-
- 本文言語コード
- en
-
- 出版国コード
- us
-
- タイトル言語コード
- en
-
- 出版地
-
- Bellingham, Wash.
-
- 分類
-
- LCC: TK7874
- DC21: 621.3815/2
-
- データソース種別
-
- CiNii Books