Single chamber processing : proceedings of the joint session on single chamber processing : requirements and challenges of the 1992 E-MRS Spring Meeting Conference, Strasbourg, France, June 2-5, 1992
書誌事項
- タイトル
- "Single chamber processing : proceedings of the joint session on single chamber processing : requirements and challenges of the 1992 E-MRS Spring Meeting Conference, Strasbourg, France, June 2-5, 1992"
- 責任表示
- edited by Yves I. Nissim, Avishay Katz
- 出版者
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- North-Holland
- 出版年月
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- 1993
- 書籍サイズ
- 29 cm
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注記
Includes bibliographical references
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282272791917824
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- NII書誌ID
- BA21392252
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- ISBN
- 0444899154
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- LCCN
- 92042556
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/92042556
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- ne
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Amsterdam ; New York
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- データソース種別
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- CiNii Books