超薄膜SiヘテロエピタキシャルSOI構造の形成と薄膜トランジスタへの応用

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Bibliographic Information

Title
"超薄膜SiヘテロエピタキシャルSOI構造の形成と薄膜トランジスタへの応用"
Statement of Responsibility
研究代表者 中村哲郎
Publisher
  • 中村哲郎
Publication Year
  • 1991.3
Book size
26cm
Other Title
  • チョウハクマク Si ヘテロエピタキシャル SOI コウゾウ ノ ケイセイ ト ハクマク トランジスタ エノ オウヨウ
  • 平成元年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書

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Notes

研究課題番号: 01460140

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282273086475776
  • NII Book ID
    BA64069259
  • Text Lang
    en
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [豊橋]
  • Classification
  • Data Source
    • CiNii Books
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