光学超薄膜を用いた軟X線干渉計測法の開発と精密結像鏡の反射波面計測制御への応用

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Bibliographic Information

Title
"光学超薄膜を用いた軟X線干渉計測法の開発と精密結像鏡の反射波面計測制御への応用"
Statement of Responsibility
研究代表者 山本正樹
Publisher
  • [山本正樹]
Publication Year
  • 2002.3
Book size
30cm
Other Title
  • コウガク チョウハクマク オ モチイタ ナンXセン カンショウ ケイソクホウ ノ カイハツ ト セイミツ ケツゾウキョウ ノ ハンシャ ハメン ケイソク セイギョ ヘ ノ オウヨウ

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Notes

研究分担者: 羽多野忠, 柳原美廣

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282273195251200
  • NII Book ID
    BB06284728
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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