液浸リソグラフィのプロセスと材料

CiNii 所蔵館 28館

書誌事項

タイトル
"液浸リソグラフィのプロセスと材料"
責任表示
東木達彦監修
出版者
  • シーエムシー出版
  • 普及版
出版年月
  • 2012.8
書籍サイズ
26cm
タイトル別名
  • エキシン リソグラフィ ノ プロセス ト ザイリョウ
  • Process and Ingredient of Immersion Lithography

この図書・雑誌をさがす

注記

「液浸リソグラフィのプロセスと材料」(2006年刊)の普及版

文献あり

関連図書・雑誌

もっと見る

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282273305387008
  • NII書誌ID
    BB09913364
  • ISBN
    9784781305509
  • 本文言語コード
    ja
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • 東京
  • 分類
  • 件名
  • データソース種別
    • CiNii Books
ページトップへ