液浸リソグラフィのプロセスと材料
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "液浸リソグラフィのプロセスと材料"
- 責任表示
- 東木達彦監修
- 出版者
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- シーエムシー出版
- 普及版
- 出版年月
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- 2012.8
- 書籍サイズ
- 26cm
- タイトル別名
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- エキシン リソグラフィ ノ プロセス ト ザイリョウ
- Process and Ingredient of Immersion Lithography
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注記
「液浸リソグラフィのプロセスと材料」(2006年刊)の普及版
文献あり
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282273305387008
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- NII書誌ID
- BB09913364
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- ISBN
- 9784781305509
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- 東京
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- 件名
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- BSH: リソグラフィー
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- データソース種別
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- CiNii Books