高精度ナノパーティクルジェットデポジション装置開発並びに付着現象ダイナミクス解明

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Bibliographic Information

Title
"高精度ナノパーティクルジェットデポジション装置開発並びに付着現象ダイナミクス解明"
Statement of Responsibility
厨川常元研究代表
Publisher
  • [厨川常元]
Publication Year
  • 2008.5
Book size
30cm
Other Title
  • コウセイド ナノパーティクルジェットデポジション ソウチ カイハツ ナラビニ フチャク ゲンショウ ダイナミクス カイメイ
  • 平成18年度～平成19年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書 : 18360064

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Notes

課題番号: 18360064

参考文献: p65-66

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282273321947904
  • NII Book ID
    BB09202774
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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