極端紫外(EUV)光源開発等の先進半導体製造技術の実用化
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書誌事項
- タイトル
- "極端紫外(EUV)光源開発等の先進半導体製造技術の実用化"
- 責任表示
- 三間圀興 [編]
- 出版者
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- 大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
- 出版年月
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- 2006.3-
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- キョクタン シガイ (EUV) コウゲン カイハツトウ ノ センシン ハンドウタイ セイゾウ ギジュツ ノ ジツヨウカ
- 極端紫外EUV光源開発等の先進半導体製造技術の実用化
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注記
文部科学省の委託業務として、大阪大学が実施した平成17-18年度の成果をとりまとめたもの
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282273351484032
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- NII書誌ID
- BA78455363
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [大阪]
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- データソース種別
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- CiNii Books