フレキシブルマイクロマシニングにおけるナノインプロセス計測に関する研究

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Bibliographic Information

Title
"フレキシブルマイクロマシニングにおけるナノインプロセス計測に関する研究"
Statement of Responsibility
研究代表者 三好隆志
Publisher
  • 大阪大学工学部
Publication Year
  • 1995.3
Book size
30 cm
Other Title
  • フレキシブル マイクロ マシニング ニ オケル ナノ インプロセス ケイソク ニ カンスル ケンキュウ

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Notes

[課題番号]: 05452137

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282273354681728
  • NII Book ID
    BB24183620
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [吹田]
  • Data Source
    • CiNii Books
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