AIN膜を用いた零温度係数をもつ通信用弾性表面波/半導体ハイブリッドICの開発

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書誌事項

タイトル
"AIN膜を用いた零温度係数をもつ通信用弾性表面波/半導体ハイブリッドICの開発"
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御子柴宣夫研究代表者
出版者
  • [御子柴宣夫]
出版年月
  • 1986.3
書籍サイズ
26cm
タイトル別名
  • AIN マク オ モチイタ レイ オンド ケイスウ オ モツ ツウシンヨウ ダンセイ ヒョウメンハ / ハンドウタイ ハイブリッド IC ノ カイハツ
  • 昭和60年度科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書

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注記

研究課題番号: 58850055

研究分担者:坪内和夫, 益一哉

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130296796585960074
  • NII書誌ID
    BD02866806
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [仙台]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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