温度振動法によるシリコン気相成長の研究

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Bibliographic Information

Title
"温度振動法によるシリコン気相成長の研究"
Statement of Responsibility
大見忠弘研究代表者
Publisher
  • [大見忠弘]
Publication Year
  • 1983.3
Book size
26cm
Other Title
  • オンド シンドウ ホウ ニヨル シリコン キソウ セイチョウ ノ ケンキュウ
  • 昭和57年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書 : 課題番号56460100

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130296796585960477
  • NII Book ID
    BD02872809
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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